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儀表網>全部分類 >測量/計量 >表面測量儀器 >臺階儀 更新時間:2025-09-11 返回產品中心
臺階儀

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后,可將位移信號從調幅信號中解調出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號

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臺階儀

產品信息

  • 摘要 NS系列臺階高微觀形貌參數測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

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  • 摘要 NS系列表面輪廓薄膜厚度臺階測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

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  • NS200探針式臺階高度測量儀
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    摘要NS系列探針式臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支...

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  • 摘要NS系列精密臺階儀測試薄膜厚度通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據...

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  • NS系列精密臺階儀
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    摘要 NS系列精密臺階儀可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。

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  • NS200精密臺階儀測量儀器
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    摘要NS系列精密臺階儀測量儀器通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持...

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  • NS200高精度高重復性臺階儀
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    摘要 NS系列高精度高重復性臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

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  • NS200國產探針式臺階儀
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    摘要 NS系列國產探針式臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。

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  • NS200納米級表面形貌臺階儀
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    摘要 ?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。

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  • NS200精密接觸式臺階儀
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    摘要NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設計的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布...

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  • NS200納米級臺階儀
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    摘要 NS系列納米級臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

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  • NS200接觸式表面形貌臺階儀
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    摘要 NS系列接觸式表面形貌臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

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  • 摘要NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺...

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  • NS200探針式薄膜厚度臺階儀
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    摘要NS系列探針式薄膜厚度臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支...

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  • NS200高精度探針式臺階儀
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    摘要 NS系列高精度探針式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

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  • NS200探針式接觸臺階高度儀
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    摘要NS系列探針式接觸臺階高度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材...

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  • NS200國產高精度臺階儀
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    摘要 NS系列國產高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。

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  • NS200中圖儀器國產臺階儀
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    摘要 中圖儀器國產臺階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • NS200納米級臺階高度儀
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    摘要 NS系列納米級臺階高度儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

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  • NS200探針接觸式臺階儀
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    摘要 NS系列探針接觸式臺階儀用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200涂層臺階膜厚儀
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    摘要 中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進行調節,三維位置均可以調節,利于樣品調整。

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  • NS200納米級精度臺階儀
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    摘要NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使...

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  • 摘要 NS系列軟膜材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • NS200亞埃級分辨率臺階儀
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    摘要 NS系列亞埃級分辨率臺階儀是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200中圖國產臺階儀品牌
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    摘要中圖國產臺階儀品牌NS系列主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性...

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  • NS200高分辨率臺階儀
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    摘要 NS系列高分辨率臺階儀集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

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  • 摘要 NS系列軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200材料臺階高度測量儀
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    摘要 NS系列材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • NS200納米級2D臺階高度測量儀
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    摘要 NS系列納米級2D臺階高度測量儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • NS200國產臺階儀器
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    摘要NS系列國產臺階儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號...

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  • NS200中圖國產臺階儀
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    摘要 中圖國產臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。

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  • NS200接觸式臺階膜厚儀
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    摘要 中圖儀器接觸式臺階膜厚儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • 摘要 NS系列高精度探針式輪廓儀臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

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  • 摘要 NS200接觸探針式微納米測量臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。

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  • NS200探針式高重復性臺階儀
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    摘要 NS系列探針式高重復性臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • 摘要 NS系列微觀二維形貌輪廓臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度。

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  • 摘要 NS系列探針式輪廓薄膜表面臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200探針接觸式臺階高度儀
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    摘要 NS系列探針接觸式臺階高度儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。

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  • NS200納米級高精度臺階儀
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    摘要 中圖儀器NS系列納米級高精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。

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  • NS200高精度薄膜厚度臺階儀
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    摘要 NS系列高精度薄膜厚度臺階儀集成超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

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  • 摘要 中圖儀器NS系列探針式臺階儀薄膜表面粗糙度測試儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

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  • 摘要 NS系列微納米測量接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。

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  • NS200納米臺階測厚儀
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    摘要 NS系列納米臺階測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

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  • NS200薄膜臺階高度測量儀
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    摘要NS系列薄膜臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量...

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  • NS200納米測厚臺階儀
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    摘要 NS系列納米測厚臺階儀測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數時,采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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最新產品\ NEW PRODUCT
  • 臺階高微觀形貌參數測量儀

    NS系列臺階高微觀形貌參數測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
  • 表面輪廓薄膜厚度臺階測量

    NS系列表面輪廓薄膜厚度臺階測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
  • 探針式臺階高度測量儀

    NS系列探針式臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 精密臺階儀測試薄膜厚度

    NS系列精密臺階儀測試薄膜厚度通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 精密臺階儀

    NS系列精密臺階儀可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 精密臺階儀測量儀器

    NS系列精密臺階儀測量儀器通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 高精度高重復性臺階儀

    NS系列高精度高重復性臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
  • 國產探針式臺階儀

    NS系列國產探針式臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 納米級表面形貌臺階儀

    ?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。
  • 精密接觸式臺階儀

    NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設計的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
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